技術(shù)文章
氧氣表MS-500日本toray東麗氧氣分析儀簡介
氧氣表MS-500
- 最多可以同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)
- 可以顯示從ppm級到100％的多種濃度。
- 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
- 傳感器為直接插入型（用于真空的NW法蘭16/25/40）
- 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器，以進(jìn)一步提高耐用性。
MS-500設(shè)備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） | ||
| 顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（濃度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 自動(dòng)范圍 | ||
| 重復(fù)性 | 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高 ±1％FS以下或≤± 0.1ppm的較大范圍內(nèi)0-1％小于0-1ppm，atm范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
| 測量點(diǎn)數(shù) | 1-8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa（壓力） | |
| 流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測量） | ||
| 濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-100℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報(bào)警輸出 | 沒有 | ||
| 熱身時(shí)間 | 6分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） | ||
| 大量的 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
| MS-510（傳感器） | 約0.5kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
| SD25NW | 約0.2Kg | ||
| SD40NW | 約0.35Kg | ||
| 外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） | ||
| 使用電源 | 24VDC±10％ | ||
產(chǎn)品目錄
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